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UV-KUB 3 是一種基于掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 這是一個(gè)非常緊湊的桌面系統(tǒng)，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準(zhǔn)直光束，因此可實(shí)現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。

我們?cè)贒ilase 直接激光寫(xiě)入光刻技術(shù)方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系統(tǒng)。 UV-KUB 2 是一種基于 UV LED 的曝光和掩膜系統(tǒng)，具有 365nm 的可用光源。 這是一款緊湊型的桌面系統(tǒng)，能夠曝光最大直徑為 4“ 或 6“ 的晶圓。