18971121198
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 濕法刻蝕顯影清洗系統(tǒng) > 顯影機 > UNIXX S 30 D顯影機
簡要描述：UNIXX S 30 D 顯影機是應用于顯影工藝的設備，適用的基板尺寸為2英寸到12英寸的圓片和最大到9英寸x9英寸的方片。新設計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝均勻性和重復性，設備也可用于清洗和旋干工藝。UNIXX S 30 D的落地式柜體經(jīng)專門設計，方便操作和維修。它是一款手動顯影機，適用于實驗室開展科學研究和技術開發(fā)。設備具有多選項（例如可編程流體輸送臂）并且可以升級成自動化
產(chǎn)品型號：UNIXX S 30 D 廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-07-02訪 問 量：3928產(chǎn)品分類
詳細介紹
特點
可處理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 ? 12" (? 300mm)圓片
采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板
不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換
真空安全聯(lián)鎖功能
觸摸屏輸入顯示 啟動、停止及真空操作按鈕
可編程速度和加速度 馬達轉(zhuǎn)速最大可達8000轉(zhuǎn)/分鐘
易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán)
網(wǎng)絡接口
USB接口
選項
? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程
? 液體噴嘴 – 噴霧型,射流型
? 熱流體線，最高80°C
? 真空或微接觸夾具 – 不同尺寸
? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán)
? 熱板
? 熱板接近式烘烤, 手動可調(diào)接近距離 ? 可編程接近距離熱板
? 真空泵
? 附加HMDS熱板
性能參數(shù)
觸摸屏程序輸入
? 程序數(shù): 100
? 程序步數(shù): 50
? 最長單步時間: 999秒
? 單步時間分辨率: 0.1秒
旋轉(zhuǎn)馬達
? 旋轉(zhuǎn)速度: 最高 8.000 轉(zhuǎn)/分鐘*
? 轉(zhuǎn)速分辨率: 1轉(zhuǎn)/分鐘
? 旋轉(zhuǎn)精度: ± 2 轉(zhuǎn)/分鐘
? 加速度: 最高 50,000 轉(zhuǎn)/分鐘/秒* *和基片重量有關
熱板
?溫度范圍: 最高 300°C
?溫度分辨率: 0.1°C
? 溫度均勻性( 100°C 時) : < ± 0.5°C 動力需求
?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A
? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm
? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm
? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm
設備外形(寬 x 深 x 高):
?落地式柜體: 約 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52")
?帶水平調(diào)節(jié)
?不銹鋼框架
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系人：鄧經(jīng)理
地址：洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
郵箱：sales@mycroinc.com
傳真：歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息
掃一掃
歡迎來到