德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) POLOS SPIN COATER

簡(jiǎn)要描述：德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) POLOS SPIN COATER Advanced系列旋轉(zhuǎn)處理器是先進(jìn)的系統(tǒng)，提供精確和可重復(fù)的工藝控制。一個(gè)空氣動(dòng)力學(xué)效率高的腔室提高了均勻性，而天然聚丙烯工藝腔室保證了無(wú)污染、易于清潔的工藝區(qū)域。所有單元都具有可編程的CW和CCW旋轉(zhuǎn)以及puddle交換擺動(dòng)功能。

產(chǎn)品型號(hào)：450 Advanced
廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-07-02
訪(fǎng) 問(wèn) 量：947

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勻膠機(jī)/勻膠旋涂?jī)x

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POLOS 450 Advanced

德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) POLOS SPIN COATER

德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) POLOS SPIN COATER®Advanced系列旋轉(zhuǎn)處理器是先進(jìn)的系統(tǒng)，提供精確和可重復(fù)的工藝控制。一個(gè)空氣動(dòng)力學(xué)效率高的腔室提高了均勻性，而天然聚丙烯工藝腔室保證了無(wú)污染、易于清潔的工藝區(qū)域。所有單元都具有可編程的CW和CCW旋轉(zhuǎn)以及puddle交換擺動(dòng)功能。

德國(guó)進(jìn)口 SPS勻膠機(jī) POLOS SPIN COATER@ 450 Advanced是一款桌面型單基板旋轉(zhuǎn)器，配有NPP外殼、旋轉(zhuǎn)杯和手動(dòng)化學(xué)分配器。適用于直徑最大為500毫米的圓形基板和350x350毫米的方形基板。

專(zhuān)為半導(dǎo)體、光伏、MEMS及納米材料領(lǐng)域設(shè)計(jì)，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴(yán)苛工藝要求。

一．特點(diǎn)：

自動(dòng)順序或并行化學(xué)分配；
最多6個(gè)噴嘴，每個(gè)均可獨(dú)立編程；

二．適用工藝范圍
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
沖洗/干燥（Rinse/Dry）
顯影（Developing）
蝕刻（Etching）
PDMI及其他特殊工藝

三．配置

外殼材料	天然聚丙烯(NPP)
腔室材料	天然聚丙烯(NPP)或高化學(xué)耐性的聚四氟乙烯(TFM™)
旋轉(zhuǎn)速度 RPM	0-1500rpm
旋轉(zhuǎn)速度準(zhǔn)確性	± 0.1 rpm
旋轉(zhuǎn)方向	正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)、Puddle交換擺動(dòng)
最大加速度	≤1500 rpm/s取決于負(fù)載**
自由編程輸出端口	3個(gè)干式繼電器，額定開(kāi)關(guān)容量0.5A/125V交流電 / 0.3A/60V直流電
最大樣片尺寸	直徑460mm圓片和350x350mm方片
腔室直徑	502mm
外形尺寸	795 (w)x638 (h)x922 (d)mm
氣體	20 - 50 kPa. Tube OD ? 6mm 500 L/hr
排水	1.5" M-NPT

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