德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。超聲等離子體清洗對(duì)被清潔表面產(chǎn)生的影響大，因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果佳，典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過(guò)離子轟擊使表面清潔。

　　

　　德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)中空泵，工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被*地清洗掉，同時(shí)污染物被中空泵抽走，其清洗程度達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對(duì)某些有特殊用途的材料，在超清洗過(guò)程中等離子清洗器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和侵潤(rùn)性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

　　

　　德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

　　

　　(1)處理溫度低

　　

　　處理溫度可以低至80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。

　　

　　(2)處理全程無(wú)污染

　　

　　等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，不產(chǎn)生任何污染，處理過(guò)程也不產(chǎn)生任何污染。

　　

　　(3)處理效率高，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)

　　

　　大氣的等離子清洗，樣品表面只要經(jīng)過(guò)很短的時(shí)間處理，一般2S以內(nèi)便能達(dá)到效果。

　　

　　可以與原有生產(chǎn)流水線搭配，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。

　　

　　(4)處理效果穩(wěn)定

　　

　　等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。

　　

　　(5)處理過(guò)程無(wú)需額外輔助的物品和條件

　　

　　大氣等離子清洗機(jī)只需要220V交流電和壓縮空氣氣源即可!無(wú)需其它額外物品和條件。

　　

　　(6)運(yùn)行成本低

　　

　　全自動(dòng)運(yùn)行，可24小時(shí)連續(xù)工作，無(wú)需人工看管，運(yùn)行功率可低至500W。

　　

　　(7)可以處理各種形狀的樣品

　　

　　對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。